Kesukaran menghasilkan pijar kuarza semikonduktor

Dec 31, 2024Tinggalkan pesanan

Pembuatan cip sangat menuntut kualiti wafer silikon mentah, terutamanya dari segi ketulenan, ketumpatan kecacatan, kehelan, kandungan kekotoran (oksigen, karbon, ion logam). Pisau kuarza adalah bahan habis pakai utama pengeluaran bahan mentah wafer silikon semikonduktor.

 

1

 

Sebagai pijar kuarza yang membawa bahan cair polysilicon, ia bersentuhan langsung dengan silikon dan cecair cairnya, terutamanya dalam persekitaran pengeluaran suhu tinggi (1,420 darjah), ketulenan, kekuatan, sifat terma, kandungan gelembung, keadaan permukaan dan aspek lain tahap prestasi mempunyai kesan yang besar terhadap kualiti, hasil dan ketekalan wafer silikon semikonduktor. Berbanding dengan mangkuk kuarza suria, mangkuk kuarza semikonduktor mempunyai keperluan yang lebih ketat untuk kandungan kekotoran pasir kuarza mentah dalam proses pengeluaran, dan piawaian abu elektrod grafit, cecair kimia yang digunakan dalam pengeluaran, bahan salutan dan gred air tulen juga lebih tinggi pada kedudukan dalaman yang berbeza.

 

Ketulenan pijar kuarza semikonduktor, tahap kawalan unsur surih, pembahagian lapisan gelembung, sifat terma, tahap tindak balas kimia antara permukaan dalam dan cecair silikon akan sangat mempengaruhi struktur mikro, sifat elektrik, dan hasil, kestabilan dan konsistensi produk. Pisau kuarza semikonduktor berkualiti tinggi perlu mencapai keseimbangan sempurna dalam pelbagai parameter teknikal.

Industri semikonduktor ialah industri strategik dan asas yang menyokong pembangunan sosial dan ekonomi serta menjamin keselamatan negara. Dengan peningkatan kecerdasan buatan, Internet Perkara dan pengkomputeran awan, keperluan untuk cip berprestasi tinggi akan dipertingkatkan lagi, dan tahap prestasi dan keperluan saiz untuk wafer silikon semikonduktor juga sentiasa bertambah baik.

 

Pisau kuarza semikonduktor bersaiz besar dan ketulenan tinggi akan menduduki arus perdana

Pada tahap prestasi, cip mewah mempunyai keperluan yang lebih ketat untuk penunjuk teknikal seperti kekasaran mikro permukaan silikon, kecacatan kristal tunggal silikon, kekotoran logam, kecacatan primer kristal dan saiz zarah permukaan. Inovasi teknologi rantaian industri wafer silikon semikonduktor juga telah mengemukakan keperluan yang lebih tinggi untuk produk pijar kuarza semikonduktor dari segi saiz, toleransi, bintik hitam, tahap kekotoran dan sebagainya.

 

Di samping itu, pembuatan semikonduktor sedang bergerak ke arah "wafer silikon yang lebih besar" dan "proses yang lebih kecil" untuk mengurangkan kos pembuatan dan penggunaan kuasa. Pada masa ini, arus perdana ialah wafer silikon 8 inci/12 inci, dan di bawah pelaburan penyelidikan dan pembangunan intensiti tinggi syarikat kepala semikonduktor domestik, penyelidikan dan pembangunan teknologi utama wafer silikon 12 inci domestik telah mencapai kemajuan yang besar, dan maju. teknologi silikon proses sedang mempercepatkan kejayaan. Peningkatan saiz industri wafer silikon semikonduktor hiliran telah meningkatkan permintaan untuk mangkuk kuarza semikonduktor bersaiz besar dan ketulenan tinggi.