Oleh kerana ciri-ciri cemerlang bahagian seramik seperti rintangan suhu tinggi dan rintangan kakisan, ia sering digunakan dalam pelbagai peralatan utama semikonduktor. Bahagian seramik semikonduktor termasuk lengan seramik semikonduktor, substrat seramik, muncung seramik, Tingkap seramik, penutup rongga seramik, cawan vakum seramik berliang, dsb.
1. Lengan seramik semikonduktor
Dalam proses kerja peralatan semikonduktor, lengan seramik diperlukan semasa mengendalikan wafer, kerana wafer silikon tidak boleh tercemar, jadi ia biasanya dijalankan dalam persekitaran udara bersih yang sebenar. Dalam persekitaran vakum, kebanyakan lengan mekanikal yang disediakan oleh bahan lain tidak dapat memenuhi keperluan, jadi perlu menggunakan lengan seramik dengan rintangan suhu tinggi, rintangan haus dan kekerasan yang tinggi. Biasanya orang menggunakan alumina ketulenan tinggi, silikon karbida untuk menyediakan lengan seramik, kedua-dua bahan mentah ini mempunyai kekerasan yang tinggi, rintangan haus dan rintangan suhu tinggi dan sifat fizikal yang lain, adalah penyediaan bahan yang sangat baik lengan seramik. Berbanding dengan kedua-dua bahan ini, prestasi lengan seramik yang diperbuat daripada silikon karbida adalah lebih baik daripada lengan seramik alumina. Walau bagaimanapun, berbanding dari aspek harga bahan dan kesukaran pemprosesan, lengan seramik yang diperbuat daripada alumina adalah lebih kos efektif, dan lengan seramik alumina biasanya digunakan lebih banyak.
2. Substrat seramik
Substrat seramik digunakan terutamanya dalam bidang pembungkusan elektronik yang berbeza, seperti pembungkusan peranti elektronik kuasa, pembungkusan laser, pembungkusan diod pemancar cahaya, pakej penyejukan termoelektrik, pembungkusan peranti elektronik suhu tinggi, pembungkusan peranti kuasa lain. Kerana bahan umum tidak dapat menahan suhu tinggi, dalam keadaan biasa, proses pembungkusan elektronik menggunakan kekonduksian terma dan rintangan haba, kekuatan tinggi, kebolehpercayaan tinggi produk seramik. Orang sering menggunakan alumina, silikon nitrida dan bahan lain untuk menyediakan substrat seramik.
3 muncung seramik
Dalam HDP-CVD, gas tindak balas memasuki ruang tindak balas melalui muncung seramik yang menghubungkan bahagian dalam dan luar ruang, jadi kualiti muncung secara langsung menentukan ketulenan dan kadar aliran gas tindak balas. Aluminium oksida dan aluminium nitrida biasanya digunakan untuk menyediakan muncung seramik. Oleh kerana seramik aluminium nitrida mempunyai kekonduksian terma dan rintangan kejutan haba yang lebih baik daripada aluminium oksida, muncung tidak akan menyebabkan pencemaran kekotoran akibat kakisan plasma, dan juga tidak akan menyebabkan pencemaran kekotoran akibat ubah bentuk terma yang disebabkan oleh kehausan bahagian pemasangan. Ini memastikan muncung tidak menimbulkan sebarang risiko pencemaran kekotoran kepada gas tindak balas dan ruang tindak balas, dan boleh memenuhi keperluan aplikasi dengan lebih baik dalam peralatan HDP-CVD proses lanjutan.
4. Tingkap Seramik
Tingkap seramik adalah komponen utama yang digunakan secara meluas dalam mesin etsa semikonduktor. Sebagai penutup ruang dalam mesin etsa, ia digunakan dalam mesin etsa plasma. Ia terletak di antara ruang mesin etsa dan gegelung gandingan plasma. Ia direka untuk menghantar RF (frekuensi radio) dan tenaga gelombang mikro ke dalam ruang etsa plasma sambil menahan hakisan persekitaran etsa plasma yang keras. Tingkap seramik berkesan mempunyai nilai tangen Sudut kehilangan rendah (transmisi tinggi) pada frekuensi RF dan gelombang mikro. Jika tidak, tenaga boleh diserap dan ditukar kepada terlalu banyak haba, sekali gus merendahkan kedua-dua proses (kehilangan tenaga RF) dan komponen (terlalu banyak haba dan kecerunan terma). Dalam penyediaan produk ini, dua bahan seramik termaju alumina ketulenan tinggi dan yttrium oksida biasanya digunakan, dan produk yang memenuhi keperluan aplikasi boleh disiapkan melalui proses pengacuan, pensinteran dan kemasan yang ketat dan proses penyemburan permukaan.
5. Penutup rongga seramik
Penutup rongga seramik ialah komponen berfungsi bebas bersepadu termasuk kubah seramik, sistem penyejukan dan sistem kawalan elektrod. Ia adalah salah satu komponen utama dalam peralatan pemendapan filem nipis 40nm dan ke bawah, dan prestasinya adalah penting untuk memastikan kualiti wafer. Penutup rongga seramik ditutup pada bahagian atas wafer, dan rongga peranti CVD dimeterai untuk membentuk persekitaran ruang tertutup. Ahli antena dengan gegelung di sekeliling penutup loceng boleh menggunakan kuasa frekuensi tinggi untuk membentuk medan elektrik teraruh untuk menjana ICP (plasma), dan memasukkannya ke dalam ruang melalui penutup rongga seramik untuk menjalankan rawatan ion yang sama dan melindungi kemajuan yang lancar daripada filem pemendapan. Penutup ruang seramik memainkan peranan penting dalam pengedap, perbezaan tekanan dalaman dan luaran dan kebersihan ruang tindak balas, dan merupakan salah satu komponen teras yang paling kritikal bagi peralatan CVD.
6. Penyedut vakum seramik
Kebanyakan komponen seramik yang biasa digunakan dalam peranti semikonduktor adalah seramik padat, tetapi penyedut vakum adalah seramik berliang. Bahan semikonduktor Wafer silikon ialah bahan nipis, keras dan rapuh, kedua-dua belahnya perlu dikisar dan digilap, dsb. Orang ramai biasanya menggunakan cawan sedutan vakum untuk mencari dan mengapit bahan kerja jenis ini. Prestasi penyedut vakum yang disediakan oleh bahan tradisional sering gagal memenuhi keperluan penggunaan. Selepas peningkatan kejuruteraan dan teknologi, orang biasanya menggunakan bahan seramik untuk membuat penyedut vakum. Penyedut vakum yang biasa digunakan ialah struktur berliang, yang diperbuat daripada dua bahan seramik yang diikat bersama. Plat seramik berliang dipasang di lubang countersunk asas, yang diikat dan dimeterai dengan pangkalan, yang dimesin daripada bahan seramik padat yang tidak bernafas. Walaupun bahan kedua-dua bahagian berbeza, rintangan haus dan sifat mekanikalnya adalah serupa. Ini menjadikan penyedut vakum memenuhi keperluan penggunaan.
Terdapat banyak produk seramik untuk semikonduktor, kami boleh menyediakan produk mengikut keperluan anda, mengalu-alukan perundingan anda.
